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F
Fokusdurchmesser (Fokusspot)
Der Fokusdurchmesser entspricht bei einem näherungsweise gaußförmigen Profil dem 1/e²-Strahldurchmesser in der Strahltaille, ansonsten dem Spotdurchmesser mit 86,5% Leistungsinhalt.
Einheit: µm
Berechnung des Fokusspot
Der Fokusdurchmesser kann mit Hilfe der unten genannten Formel abgeschätzt werden. Der Fokusspot ist abhängig von der Lichtquelle (Laserwellenlänge und Strahlqualität des eingekoppelten Laserstrahls) sowie der Apertur und Brennweite des Scan-Systems. Diese Näherung liefert nur für annähernd gaußförmige Strahlprofile verwertbare Ergebnisse.
d = Fokusdurchmesser (1/e2 )
λ = Wellenlänge (typisch 193 nm – 10,6 µm)
f = Brennweite (typisch 30 mm – 2.000 mm)
M2 = Strahlqualität (abhängig vom Laser)
k = Korrekturfaktor, abhängig von A und D (ideal 1,27, real meist 1,5 – 2,0)
A = Scanner-Apertur
D = Strahldurchmesser vor Fokussierung (typisch 6 mm – 70 mm)
Der Laser als Werkzeug
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