Strahlformungssysteme für die Mikrobearbeitung

SCANLAB arbeitet mit Pulsar Photonics im Rahmen einer Entwicklungs- und Vertriebskooperation für höher integrierte Scan-Lösungen für die Mikrobearbeitung zusammen. Der Markt für UKP-Anwendungen (Ultra-Kurzpuls-Laser) wächst weiter und große Herausforderungen liegen häufig bei einer gewünschten Steigerung der Produktivität. Dieser Wunsch kann durch die Parallelisierung von Laserprozessen, beispielsweise mit Multi-Strahlsystemen, bei zahlreichen Anwendungen erfüllt werden.

Microscan Extension (MSE)

Die Microscan Extension kann als ‚1-µm-Lasermesser‘ bezeichnet werden. Dieses Scan-Objektiv erweitert ein Scan-System zu einem Mikrospot-Scan-Kopf.

Die Kombination von Scanner und MSE ermöglicht die hochpräzise Mikrobearbeitung: Der Fokusdurchmesser beträgt weniger als 4 μm, im UV-Wellenbereich sogar weniger als 1,5 µm.

MultiBeamScanner (MBS)

Der MultiBeamScanner ermöglicht parallele Laserschneid-, Bohr- und Abtragprozesse. Durch den Einsatz von diffraktiven optischen Elementen (DOE) wird der einfallende Laserstrahl in eine Konfiguration diverser Teilstrahlen aufgeteilt, damit so mehrere Laserspots gleichzeitig in einem Bildfeld arbeiten können. Auf diese Weise können mehrere Bauteile gleichzeitig bearbeitet oder komplexe Strukturen schneller erzeugt werden. Durch Kombination mit dem XL SCAN kann die Geschwindigkeit der parallelen Bearbeitung und die Präzision weiter erhöht werden.

FlexibleBeamShaper (FBS)

Der FlexibleBeamShaper ist ein maschinenintegrierbares Strahlformungssystem, das benutzerdefinierte Strahlverteilungen erzeugen kann. Durch den elektronisch ansteuerbaren optischen Phasenmodulator wird der FBS zum ‚photonischen Werkzeugkasten‘ ausgestattet mit verschiedenen vordefinierten Strahlformen. Das System, mit integriertem Galvanometer-Scan-Kopf, eröffnet Prozessentwicklern neue Möglichkeiten zur flexiblen und effizienten Mikrobearbeitung.

Beam Alignment Module (BAM)

Das Strahljustagemodul, Beam Alignment Module, dient zur aktiven Strahl-Positions-Stabilisierung. Ausrichtungsfehler, thermische Effekte von Laserquellen und Schwankungen der Umgebungstemperatur, sowie deren Auswirkungen auf die Strahlposition, können gemessen und korrigiert werden. Damit ermöglicht das BAM konstante Prozessergebnisse, sogar bei schwankenden Umgebungsbedingungen.

Photonic Drill Engine (PDE)

In dem Entwicklungsprojekt Photonics Drill Engine entsteht ein hoch-dynamisches und variables Multistrahlwerkzeug zur Lasermaterialbearbeitung.

Die PDE eignet sich hervorragend für den Einsatz in der Elektronikindustrie, beispielsweise zum Bohren von Leiterplatten, um die Bohrraten für High-Density-Anwendungen zu steigern.