intelliSCAN III 20
Apertur 20 mm
Winkelgeber Galvanometer­scanner analoger Positionsdetektor
Optik
Wellenlängen­bereiche
(Standard)
Standard-Coatings für alle gängigen Lasersysteme:
YAG- & Faserlaser,
Laser für den grünen Wellenlängenbereich,
UV Laser,
CO2 Laser

Zusätzlich sind zahlreiche Mehrfach- und Breitbandcoatings, sowie Coatings für Kurzpulsanwendungen und polarisationserhaltende Coatings im Portfolio
Max. Laserleistung
(Standardsysteme, 100% Betrieb)
2000 W @ 1064 nm
mit Luftkühlung
Typischer Auslenkwinkel ±0,35 rad (opt.)
Bildfeldgröße
(1064 nm, f = 160 mm)
60 mm x 60 mm
Fiber adapter nein
Abweichung des Auslenkwinkels < 5 mrad
Abweichung von der Nullposition < 5 mrad
Dynamic
Anzahl installierter Tunings bis zu 3
Typisches Tuning Fast-Vector-Tuning
Schleppverzug 0,32 ms
Beschriftungs­geschwindigkeit
(f = 160 mm)
1,0 m/s
Positionier­geschwindigkeit
(f = 160 mm)
11,0 m/s
Schreibgeschwindigkeit
(F-Theta-Objektiv, f = 160 mm)
hohe Schreibqualität 230 cps
gute Schreibqualität 340 cps
Sprungantwort
(ausgeregelt auf 1/1000 Vollausschlag)
1% Vollausschlag 0,7 ms
10% Vollausschlag 1,9 ms
Genauigkeit
Wiederhol­genauigkeit
(RMS)
< 2 µrad
Positions­auflösung
(max.)*
18 Bit *
Nichtlinearität < 0,9 mrad / 44°
Temperaturdrift
Offset < 20 µrad/K
Gain < 15 ppm/K
8 hour drift
(after 30 min warm-up)
Offset < 100 µrad
Gain < 100 ppm
24 hour drift
(after 3 h warm-up)
Offset < 100 µrad
Gain < 100 ppm
* 18 Bit: bezogen auf den vollen Winkelbereich (z.B. Positionsauflösung 2,8 µrad für Winkelbereich ±0,36 rad), <br /> Auflösungen besser als 16 Bit (11 µrad) nur zusammen mit SL2-100-Schnittstelle
Electrics / Control
Regelung Galvanometer­scanner digitale Reglerkarte
Ansteuer­schnittstelle
(Alternativen)
digital SL2-100,
digital XY2-100 Enhanced
Erweiterte Diagnosemöglichkeiten ja (iDRIVE)
Versorgungs­spannung Verfügbare Varianten:
30 V DC, max. 6 A
48 V DC max. 6 A
Mechanik
Scan-Achsen 2-Achsen-System
Gehäuse­varianten Standard: Scan-Kopf
alternativ: Modul (ohne Gehäuse)
Stecker­positionen Strahleintrittsseite
Größe (L x B x H)
(Standardgehäuse)
(207 x 140 x 180) mm3
Gewicht ohne Objektiv
(Standardgehäuse)
5,8 kg
Strahlversatz 25,25 mm
Sonstige Ausstattung
Wasserkühlung ja
Luftkühlung ja
Optionen Objektive mit optimierten Montagesätzen,
Leichtgewichtsspiegel,
applikations- und kundenspezifische Tunings
Sonstige Spezifikationen
Größe (L x B x H)
(Standardgehäuse)
(207 x 140 x 180) mm3
Gewicht ohne Objektiv
(Standardgehäuse)
5,8 kg
Strahlversatz 25,25 mm
Arbeits­temperatur 25 °C ± 10 °C
Abweichung des Auslenkwinkels < 5 mrad
Abweichung von der Nullposition < 5 mrad
Skew
Sprungantwort (100% Vollausschlag)
Typical Optical Configurations
Applikatonen
Typische Anwendungen Mikrostrukturierung,
Markieren, Schweißen, Bohren,
Rapid Prototyping,
Rapid Tooling,
Materialbearbeitung in der Halbleiterindustrie,
Processing on the fly