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| hurrySCAN III 14 | |||
| Apertur | 14 mm | ||
| Winkelgeber Galvanometerscanner | analoger Positionsdetektor | ||
| Optik | |||
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                  Wellenlängenbereiche (Standard)  | 
              
            Standard-Coatings für alle gängigen Lasersysteme:  YAG- & Faserlaser, Laser für den grünen Wellenlängenbereich, UV Laser, DUV Laser, CO2 Laser Zusätzlich sind zahlreiche Mehrfach- und Breitbandcoatings, sowie Coatings für Kurzpulsanwendungen und polarisationserhaltende Coatings im Portfolio  | 
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                  Max. Laserleistung (Standardsysteme, 100% Betrieb)  | 
              440 W @ 1064 nm | ||
| Typischer Auslenkwinkel | ±0,35 rad (opt.) | ||
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                  Bildfeldgröße (1064 nm, f = 160 mm)  | 
              95 mm x 95 mm | ||
| Fiber adapter | nein | ||
| Abweichung des Auslenkwinkels | < 5 mrad | ||
| Abweichung von der Nullposition | < 5 mrad | ||
| Dynamic | |||
| Anzahl installierter Tunings | 1 | ||
| Typisches Tuning | Fast-Vector-Tuning | ||
| Schleppverzug | 0,18 ms | ||
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                  Beschriftungsgeschwindigkeit (f = 160 mm)  | 
              2,0 m/s | ||
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                  Positioniergeschwindigkeit (f = 160 mm)  | 
              12 m/s | ||
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                    Schreibgeschwindigkeit (F-Theta-Objektiv, f = 160 mm)  | 
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| hohe Schreibqualität | 410 cps | ||
| gute Schreibqualität | 660 cps | ||
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                    Sprungantwort (voller Winkel) (ausgeregelt auf 1/1000 Vollausschlag)  | 
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| 1% Vollausschlag | 0,35 ms | ||
| 10% Vollausschlag | 1,2 ms | ||
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                    Sprungantwort (fester Winkel) (innerhalb einer Toleranz von ± 450 μrad)  | 
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| 10 mrad | |||
| 100 mrad | |||
| Genauigkeit | |||
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                  Wiederholgenauigkeit (RMS)  | 
              < 2 µrad | ||
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                  Positionsauflösung (max.)*  | 
              18 Bit * | ||
| Nichtlinearität | < 0,9 mrad / 44° | ||
| Temperaturdrift | |||
| Offset | < 15 µrad/K | ||
| Gain | < 25 ppm/K | ||
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                    8 hour drift (after 30 min warm-up)  | 
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| Offset | < 100 µrad | ||
| Gain | < 100 ppm | ||
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                    24 hour drift (after 3 h warm-up)  | 
              |||
| Offset | < 100 µrad | ||
| Gain | < 100 ppm | ||
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              * 18 Bit: bezogen auf den vollen Winkelbereich (z.B. Positionsauflösung 2,8 µrad für Winkelbereich ±0,36 rad), <br /> Auflösungen besser als 16 Bit (11 µrad) nur zusammen mit SL2-100-Schnittstelle
             
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| Electrics / Control | |||
| Regelung Galvanometerscanner | analoge Reglerkarte | ||
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                  Ansteuerschnittstelle (Alternativen)  | 
              
            digital SL2-100,  digital XY2-100 Standard, analog ±4,8 V, analog ±9,6 V  | 
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| Erweiterte Diagnosemöglichkeiten | nein | ||
| Versorgungsspannung | 
            ±(15+1,5) V DC,  max. 3 A  | 
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| Mechanik | |||
| Scan-Achsen | 2-Achsen-System | ||
| Gehäusevarianten | 
            Standard: Scan-Kopf  alternativ: Modul (ohne Gehäuse)  | 
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| Steckerpositionen | 
            Strahleintrittsseite,  alternativ gegenüber Strahlaustritt  | 
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                  Größe (L x B x H) (Standardgehäuse)  | 
              (175 x 114 x 147) mm3 | ||
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                  Gewicht ohne Objektiv (Standardgehäuse)  | 
              ca. 3 kg | ||
| Strahlversatz | 16,42 mm | ||
| Sonstige Ausstattung | |||
| Wasserkühlung | optional | ||
| Luftkühlung | optional | ||
| Optionen | Objektive mit optimierten Montagesätzen | ||
| Sonstige Spezifikationen | |||
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                  Größe (L x B x H) (Standardgehäuse)  | 
              (175 x 114 x 147) mm3 | ||
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                  Gewicht ohne Objektiv (Standardgehäuse)  | 
              ca. 3 kg | ||
| Strahlversatz | 16,42 mm | ||
| Arbeitstemperatur | |||
| Abweichung des Auslenkwinkels | < 5 mrad | ||
| Abweichung von der Nullposition | < 5 mrad | ||
| Skew | < 1,5 mrad | ||
| Sprungantwort (100% Vollausschlag) | |||
| Typical Optical Configurations | |||
| Applikatonen | |||
| Typische Anwendungen | 
            Materialbearbeitung,  Markieren, Mikrostrukturierung, Rapid Manufacturing, 3D-Applikationen, Processing on the fly  | 
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