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| SCANcube III 10 | |||
| Apertur | 10 mm | ||
| Winkelgeber Galvanometerscanner | analoger Positionsdetektor | ||
| Optik | |||
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Wellenlängenbereiche (Standard) |
Standard-Coatings für alle gängigen Lasersysteme: YAG- & Faserlaser, Laser für den grünen Wellenlängenbereich, UV Laser, CO2 Laser Zusätzlich sind zahlreiche Mehrfach- und Breitbandcoatings im Portfolio |
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Max. Laserleistung (Standardsysteme, 100% Betrieb) |
200 W @ 1064 nm | ||
| Typischer Auslenkwinkel | ±0,35 rad (optisch) | ||
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Bildfeldgröße (1064 nm, f = 160 mm) |
110 mm x 110 mm | ||
| Fiber adapter | nein | ||
| Abweichung des Auslenkwinkels | < 5 mrad | ||
| Abweichung von der Nullposition | < 5 mrad | ||
| Dynamic | |||
| Anzahl installierter Tunings | 1 | ||
| Typisches Tuning | Fast-Vector-Tuning | ||
| Schleppverzug | 0,12 ms | ||
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Beschriftungsgeschwindigkeit (f = 160 mm) |
3,0 m/s | ||
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Positioniergeschwindigkeit (f = 160 mm) |
16,0 m/s | ||
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Schreibgeschwindigkeit (F-Theta-Objektiv, f = 160 mm) |
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| hohe Schreibqualität | 700 cps | ||
| gute Schreibqualität | 925 cps | ||
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Sprungantwort (voller Winkel) (ausgeregelt auf 1/1000 Vollausschlag) |
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| 1% Vollausschlag | 0,30 ms | ||
| 10% Vollausschlag | 0,80 ms | ||
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Sprungantwort (fester Winkel) (innerhalb einer Toleranz von ± 450 μrad) |
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| 10 mrad | |||
| 100 mrad | |||
| Genauigkeit | |||
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Wiederholgenauigkeit (RMS) |
< 2 µrad | ||
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Positionsauflösung (max.)* |
16 Bit * | ||
| Nichtlinearität | < 0,9 mrad / 44° | ||
| Temperaturdrift | |||
| Offset | < 25 µrad/K | ||
| Gain | < 25 ppm/K | ||
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8 hour drift (after 30 min warm-up) |
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| Offset | < 100 µrad | ||
| Gain | < 100 ppm | ||
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24 hour drift (after 3 h warm-up) |
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| Offset | |||
| Gain | |||
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* 16 Bit: bezogen auf den vollen Winkelbereich (z.B. Positionsauflösung 11 µrad für Winkelbereich ±0,36 rad)
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| Electrics / Control | |||
| Regelung Galvanometerscanner | analoge Reglerkarte | ||
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Ansteuerschnittstelle (Alternativen) |
digital SL2-100, digital XY2-100 Standard, analog ±4,8 V |
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| Erweiterte Diagnosemöglichkeiten | nein | ||
| Versorgungsspannung |
±15 V DC, jeweils max. 3 A |
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| Mechanik | |||
| Scan-Achsen | 2-Achsen-System | ||
| Gehäusevarianten | Standard: Scan-Kopf | ||
| Steckerpositionen | Strahleintrittsseite | ||
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Größe (L x B x H) (Standardgehäuse) |
(114 x 96,5 x 94) mm3 | ||
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Gewicht ohne Objektiv (Standardgehäuse) |
1,9 kg | ||
| Strahlversatz | 12,54 mm | ||
| Sonstige Ausstattung | |||
| Wasserkühlung | nein | ||
| Luftkühlung | nein | ||
| Optionen | Objektive mit optimierten Montagesätzen | ||
| Sonstige Spezifikationen | |||
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Größe (L x B x H) (Standardgehäuse) |
(114 x 96,5 x 94) mm3 | ||
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Gewicht ohne Objektiv (Standardgehäuse) |
1,9 kg | ||
| Strahlversatz | 12,54 mm | ||
| Arbeitstemperatur | 25 °C ± 10 °C | ||
| Abweichung des Auslenkwinkels | < 5 mrad | ||
| Abweichung von der Nullposition | < 5 mrad | ||
| Skew | |||
| Sprungantwort (100% Vollausschlag) | |||
| Typical Optical Configurations | |||
| Applikatonen | |||
| Typische Anwendungen |
Beschriftungsanwendungen, Materialbearbeitung in der Halbleiterindustrie, Mikrostrukturierung, Processing on the fly |
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