SCANcube III 10
Apertur 10 mm
Winkelgeber Galvanometer­scanner analoger Positionsdetektor
Optik
Wellenlängen­bereiche
(Standard)
Standard-Coatings für alle gängigen Lasersysteme:
YAG- & Faserlaser,
Laser für den grünen Wellenlängenbereich,
UV Laser,
CO2 Laser

Zusätzlich sind zahlreiche Mehrfach- und Breitbandcoatings im Portfolio
Max. Laserleistung
(Standardsysteme, 100% Betrieb)
200 W @ 1064 nm
Typischer Auslenkwinkel ±0,35 rad (opt.)
Bildfeldgröße
(1064 nm, f = 160 mm)
110 mm x 110 mm
Fiber adapter nein
Abweichung des Auslenkwinkels < 5 mrad
Abweichung von der Nullposition < 5 mrad
Dynamic
Anzahl installierter Tunings 1
Typisches Tuning Fast-Vector-Tuning
Schleppverzug 0,12 ms
Beschriftungs­geschwindigkeit
(f = 160 mm)
3,0 m/s
Positionier­geschwindigkeit
(f = 160 mm)
16,0 m/s
Schreibgeschwindigkeit
(F-Theta-Objektiv, f = 160 mm)
hohe Schreibqualität 700 cps
gute Schreibqualität 925 cps
Sprungantwort
(ausgeregelt auf 1/1000 Vollausschlag)
1% Vollausschlag 0,30 ms
10% Vollausschlag 0,80 ms
Genauigkeit
Wiederhol­genauigkeit
(RMS)
< 2 µrad
Positions­auflösung
(max.)*
16 Bit *
Nichtlinearität < 0,9 mrad / 44°
Temperaturdrift
Offset < 25 µrad/K
Gain < 25 ppm/K
8 hour drift
(after 30 min warm-up)
Offset < 100 µrad
Gain < 100 ppm
24 hour drift
(after 3 h warm-up)
Offset
Gain
* 16 Bit: bezogen auf den vollen Winkelbereich (z.B. Positionsauflösung 11 µrad für Winkelbereich ±0,36 rad)
Electrics / Control
Regelung Galvanometer­scanner analoge Reglerkarte
Ansteuer­schnittstelle
(Alternativen)
digital SL2-100,
digital XY2-100 Standard,
analog ±4,8 V
Erweiterte Diagnosemöglichkeiten nein
Versorgungs­spannung ±15 V DC,
jeweils max. 3 A
Mechanik
Scan-Achsen 2-Achsen-System
Gehäuse­varianten Standard: Scan-Kopf
Stecker­positionen Strahleintrittsseite
Größe (L x B x H)
(Standardgehäuse)
(114 x 96,5 x 94) mm3
Gewicht ohne Objektiv
(Standardgehäuse)
1,9 kg
Strahlversatz 12,54 mm
Sonstige Ausstattung
Wasserkühlung nein
Luftkühlung nein
Optionen Objektive mit optimierten Montagesätzen
Sonstige Spezifikationen
Größe (L x B x H)
(Standardgehäuse)
(114 x 96,5 x 94) mm3
Gewicht ohne Objektiv
(Standardgehäuse)
1,9 kg
Strahlversatz 12,54 mm
Arbeits­temperatur 25 °C ± 10 °C
Abweichung des Auslenkwinkels < 5 mrad
Abweichung von der Nullposition < 5 mrad
Skew
Sprungantwort (100% Vollausschlag)
Typical Optical Configurations
Applikatonen
Typische Anwendungen Beschriftungsanwendungen,
Materialbearbeitung in der Halbleiterindustrie,
Mikrostrukturierung,
Processing on the fly