IIIer-Serie

intelliSCAN III 10

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Apertur
10 mm
Winkelgeber Galvanometer­scanner
analoger Positionsdetektor
Show Optik
Wellenlängen­bereiche
(Standard)
Standard-Coatings für alle gängigen Lasersysteme:
YAG- & Faserlaser,
Laser für den grünen Wellenlängenbereich,
UV Laser,
DUV Laser,
CO2 Laser

Zusätzlich sind zahlreiche Mehrfach- und Breitbandcoatings, sowie Coatings für Kurzpulsanwendungen und polarisationserhaltende Coatings im Portfolio
Max. Laserleistung
(Standardsysteme, 100% Betrieb)
200 W @ 1064 nm
Typischer Auslenkwinkel
±0,35 rad (opt.)
Bildfeldgröße
(1064 nm, f = 160 mm)
120 mm x 120 mm
(bei f = 163 mm)
Typische Spotgröße
(1064 nm, f = 160 mm, M2 = 1,0)
32 µm
Show Dynamik
Anzahl installierter Tunings
bis zu 3
Typisches Tuning
Fast-Vector-Tuning
Schleppverzug
0,11 ms
Beschriftungs­geschwindigkeit
(f = 160 mm)
3,5 m/s
Positionier­geschwindigkeit
(f = 160 mm)
12 m/s
Schreibgeschwindigkeit
(F-Theta-Objektiv, f = 160 mm)
hohe Schreibqualität
760 cps
gute Schreibqualität
1080 cps
Sprungantwort (100% Vollausschlag)
1% Vollausschlag
0,40 ms
10% Vollausschlag
1,1 ms
Genauigkeit
Wiederhol­genauigkeit
(RMS)
< 2 µrad
Positions­auflösung
(max.)*
18 Bit *
Nichtlinearität
< 0,9 mrad / 44°
Temperaturdrift
Offset
< 15 µrad/K
Gain
< 25 ppm/K
8-Std.-Drift
(nach 30 min.)
Offset
< 100 µrad
Gain
< 100 ppm
24-Std.-Drift
(nach 3 Std.)
Offset
< 100 µrad
Gain
< 100 ppm
* 18 Bit: bezogen auf den vollen Winkelbereich (z.B. Positionsauflösung 2,8 µrad für Winkelbereich ±0,36 rad),
Auflösungen besser als 16 Bit (11 µrad) nur zusammen mit SL2-100-Schnittstelle
Elektrik / Ansteuerung
Regelung Galvanometer­scanner
digitale Reglerkarte
Ansteuer­schnittstelle
(Alternativen)
digital SL2-100,
digital XY2-100 Enhanced
Erweiterte Diagnosemöglichkeiten
ja (iDRIVE)
Versorgungs­spannung
30 V DC, max. 6 A
Mechanik
Scan-Achsen
2-Achsen-System
Gehäuse­varianten
Standard: Scan-Kopf
alternativ: Modul (ohne Gehäuse)
Stecker­positionen
Strahleintrittsseite,
alternativ gegenüber Strahlaustritt
Gewicht ohne Objektiv
(Standardgehäuse)
3 kg
Größe (L x B x H)
(Standardgehäuse)
(175 x 118 x 147) mm3
Strahlversatz
12,56 mm
Sonstige Ausstattung
Wasserkühlung
optional
Luftkühlung
optional
Sonstige Spezifikationen
Arbeits­temperatur
25 °C ± 10 °C
Abweichung des Auslenkwinkels
< 5 mrad
Abweichung von der Nullposition
< 5 mrad
Erweiterungen
mit varioSCAN für 3D-Applikationen kombinierbar,
Ansteuerung mit SCANLAB RTC-Karte,
Kameraadapter möglich
Typische Anwendungen
Mikrostrukturierung,
Markieren, Schweißen, Bohren,
Rapid Prototyping,
Rapid Tooling,
Materialbearbeitung in der Halbleiterindustrie,
Processing on the fly
Produktvergleich
Application-Micromachining-Products

Erweiterungen

Optionen

  • Objektive mit optimierten Montagesätzen

Applikationen

 

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