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Scan-Objektive

Alle Scan-System werden für den Einsatz mit passenden Standardobjektiven oder Spezialoptiken versehen. Die Optik-Spezialisten von SCANLAB haben für Sie eine große Anzahl an Objektiven auf Verwendbarkeit, verschiedene Beschichtungen und perfekte Kompatibilität überprüft. Eine Empfehlung für passende Optiken erfolgt immer unter Einbezug Ihrer spezifischen Anforderungen und der jeweiligen Applikation.

Objektive werden am Strahlaustritt von Scan-Systemen befestigt. Typ und Brennweite (bzw. Schnittweite) der Fokussieroptik werden entsprechend den Anforderungen der jeweiligen Anwendung bzgl. Wellenlänge, Laserleistung, Fokusdurchmesser, Bildfeldgröße und Arbeitsabstand ausgewählt.

F-Theta-Objektive

Mit F-Theta-Objektiven lassen sich flache Bildfelder mit hoher Exaktheit und ohne dynamische Einschränkungen bearbeiten. Mit einem F-Theta-Objektiv kurzer Brennweite können kleine Arbeitsabstände und daher auch sehr kompakte System-Abmessungen erreicht werden. SCANLAB bietet verschiedenste F-Theta- und Flachfeld-Objektive (auch telezentrische Objektive) an. Es sind auch kundenspezifische Auslegungen möglich.

Spezialoptiken

Für eine Reihe von Spezialaufgaben bietet SCANLAB Scan-Spiegel mit speziellen Geometrien und Substratmaterialien, sowie Fokussieroptiken für eine spezielle Strahlformung an. Auch ein System zur Abbildung von Masken auf variable Positionen im Bildfeld ist erhältlich. Auf Anfrage werden zusammen mit dem Kunden individuelle Lösungen entwickelt.

Falls die Gefahr besteht, dass das Scan-System durch den Materialbearbeitungsprozess verschmutzt wird, kann das Scan-System mit einem Schutzglas ausgestattet werden.

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