Alle optischen Komponenten eines Scan-Systems werden von SCANLAB in Absprache mit dem Kunden entsprechend der jeweiligen Applikation ausgewählt. SCANLAB kann hierfür auf eine große Palette verschiedener Spiegel und Fokussieroptiken zurückgreifen.

Spiegel zur Strahlablenkung

SCANLAB bietet Ablenkspiegel mit unterschiedlichen Aperturen, Substratmaterialien und Hochleistungsbeschichtungen an. Die Spiegel eines Scan-Systems werden gemäß den Anforderungen der jeweiligen Anwendung in Bezug auf Wellenlänge, Laserleistung und Dynamik ausgewählt. Besonderes Augenmerk wird auf eine hohe Reflektivität, Spiegelebenheit und Beständigkeit der Spiegel sowie ein gutes dynamisches Verhalten bei der Positionierung mit Galvanometer-Scannern gelegt.

Objektive und varioSCAN zur Fokussierung

Objektive werden am Strahlaustritt von Scan-Systemen befestigt, während varioSCAN-Fokussiereinheiten vor den Ablenkspiegeln eines Scan-Systems installiert werden. Typ und Brennweite (bzw. Schnittweite) der Fokussieroptik werden entsprechend den Anforderungen der jeweiligen Anwendung bzgl. Wellenlänge, Laserleistung, Fokusdurchmesser, Bildfeldgröße und Arbeitsabstand ausgewählt.

Mit F-Theta-Objektiven lassen sich flache Bildfelder mit hoher Exaktheit und ohne dynamische Einschränkungen bearbeiten. Mit einem F-Theta-Objektiv kurzer Brennweite können kleine Arbeitsabstände und daher auch sehr kompakte System-Abmessungen erreicht werden. SCANLAB bietet verschiedenste F-Theta- und Flachfeld-Objektive (auch telezentrische Objektive) an. Es sind auch kundenspezifische Auslegungen möglich.

Alternativ lässt sich die Fokussierung auf ein ebenes Bildfeld auch mit Hilfe von varioSCAN-Fokussiereinheiten realisieren. RTC^®-Karten regeln die Brennweite einer varioSCAN-Einheit für jede Position der Ablenkspiegel, so dass der Laserfokus immer in der gewünschten Ebene liegt. Mit dem gleichen Mechanismus lässt sich die Lage des Fokus entlang der Strahlachse variieren. Das ermöglicht echte 3D-Lasermaterial-Bearbeitungsprozesse. SCANLAB bietet varioSCAN Optiken für alle gängigen Laserwellenlängen an.

Abhängig von der optischen Konfiguration können große Bildfelder mit hohen Laserleistungen bearbeitet werden. Große Arbeitsvolumina werden durch die Kombination einer varioSCAN-Einheit mit einem F-Theta-Objektiv erreicht.

Spezialoptiken

Für eine Reihe von Spezialaufgaben bietet SCANLAB Scan-Spiegel mit speziellen Geometrien und Substratmaterialien, sowie Fokussieroptiken für eine spezielle Strahlformung an. Auch ein System zur Abbildung von Masken auf variable Positionen im Bildfeld ist erhältlich. Auf Anfrage werden zusammen mit dem Kunden individuelle Lösungen entwickelt.

Falls die Gefahr besteht, dass das Scan-System durch den Materialbearbeitungsprozess verschmutzt wird, kann das Scan-System auch mit einem Schutzglas ausgestattet werden.